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AZO靶材 (1)

文章来源:tytaoc    时间:2015-09-16

AZO靶材 (1)

  AZO靶
  靶材技术指标:
  纯 度:3N5
  主要成分:ZnO(98):Al2O3(2)
  相对密度:d≥ 99%
  理论密度:ρ= 5.6 g•cm-3 
  电 阻 率:1.7×10-3Ω•cm-1
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